Таблица Е.1 - Промежуточные десятичные классы чистоты воздуха по концентрации частиц

Класс N ИСО	Концентрация частиц, частиц/м3а
	0,1	0,2	0,3	0,5	1,0	5,0
1,5 ИСО	[32]b	d	d	d	d	e
2,5 ИСО	316	[75]b	[32]b	d	d	e
3,5 ИСО	3 160	748	322	111	d	e
4,5 ИСО	31 600	7 480	3 220	1 110	263	e
5,5 ИСО	316 000	74 800	32 200	11 100	2 630	e
6,5 ИСО	3 160 000	748 000	322 000	111 000	26 300	925
7,5 ИСО	с	с	с	1 110 000	263 000	9 250
8,5 ИСОf	с	с	с	11 100 000	2 630 000	92 500
а Все приведенные в таблице концентрации являются кумулятивными, например, для класса 5,5 ИСО и порогового размера частиц 0,5 мкм предельно допустимая концентрация равна 11 100 частиц/м3, включая все частицы с размерами равными и большими этого размера. b При этих концентрациях требуется отбор проб с большим объемом для целей классификации (приложение D, последовательный отбор проб). с Пределы концентраций не устанавливаются в данных местах таблицы ввиду очень высоких значений концентрации частиц. d Классы чистоты не установлены ввиду ограничений на отбор проб и обработку статистических данных при низких концентрациях частиц. е Классы чистоты при низких концентрациях частиц и для частиц с размерами, равными и большими 1 мкм, не установлены ввиду возможных потерь частиц в системе отбора проб. f Этот класс может быть задан только для эксплуатируемого состояния.

E.2 Промежуточные размеры частиц

При необходимости задания класса чистоты для промежуточных размеров частиц для любых целых или десятичных классов может использоваться формула (Е.1) для определения предельно допустимой концентрации частиц с заданным пороговым размером:

где С_n - предельно допустимая концентрация аэрозольных частиц (частиц/м³) с размерами, равными или большими заданного порогового значения; С_n округляется до ближайшего целого числа, причем число значащих цифр должно быть не более трех;

N - классификационное число ИСО, которое не должно превышать 9 или быть меньшим 1;

D - заданный пороговый размер частиц в микрометрах, не указанный в таблице 1;

K = 0,1 - постоянная величина, выраженная в микрометрах.

Контрольные приборы

F.1 Введение

Настоящее приложение рассматривает контрольные приборы, которые следует применять при испытаниях по приложениям А, С и D.

В таблицах F.1 и F.2 приведены минимально необходимые требования для каждого вида приборов. Выбор контрольных приборов должен быть согласован заказчиком и исполнителем.

Настоящее приложение является справочным и не накладывает ограничений на использование усовершенствованных приборов по мере их появления.

Могут быть пригодными и использоваться другие приборы по соглашению между заказчиком и исполнителем.

F.2 Требования к приборам

Для проведения контроля по приложениям А, С и D следует использовать следующие приборы:

a) дискретный счетчик частиц, работающий по принципу рассеяния света (LSAPC);

Примечание - Требования к LSAPC установлены ISO 21501-4:2007 [1].

b) дискретный счетчик макрочастиц;

c) времяпролетный счетчик частиц;

d) микроскоп для счета частиц, собранных на фильтровальную бумагу (ASTM F312-8) [3].

Термины и определения, применимые к этим приборам, даны в разделе 3.

Таблица F.1 - Требования к дискретному счетчику макрочастиц

Наименование	Требование
Пределы измерения	Минимальный обнаруживаемый размер должен быть от 5 до 80 мкм и соответствовать заданным размерам частиц и возможностям прибора. Предельно допустимая концентрация частиц для LSAPC должна быть равна или превышать максимально ожидаемую концентрацию заданных частиц
Разрешающая способность	Должна составлять 20 % для частиц, применяемых при калибровке, с размерами, заданными производителем
Максимально допустимая ошибка	20 % для счета частиц с заданными размерами

Таблица F.2 - Требования к времяпролетному счетчику частиц

Наименование	Требование
Пределы измерения	Размеры частиц от 0,5 до 20 мкм; концентрация частиц от 1,0 х 103 частиц/м3 до 1,0 х 108 частиц/м3
Разрешающая способность	При определении аэродинамического диаметра: 0,02 мкм для частиц с размером 1,0 мкм; и 0,03 мкм для частиц с размером 10 мкм
Максимально допустимая ошибка	10 % от полной шкалы

Сведения
о соответствии ссылочных международных стандартов национальным стандартам

Обозначение ссылочного международного стандарта	Степень соответствия	Обозначение и наименование соответствующего национального стандарта
ISO 14644-2:2015	-	*
ISO 14644-7	IDT	ГОСТ Р ИСО 14644-7-2007 "Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения)"
* Соответствующий национальный стандарт отсутствует. До его утверждения рекомендуется использовать перевод на русский язык данного международного стандарта.Примечание - В настоящей таблице использовано следующее условное обозначение степени соответствия стандартов:- IDT - идентичные стандарты.

Библиография

[1]	ISO 21501-4:2007	Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 4: Light scattering airborne particle counter for clean spaces
[2]	ASTM F312-08	Standard Test Methods for Microscopical Sizing and Counting Particles from Aerospace Fluids on Membrane Filters. ASTM International
[3]	IEST-G-CC1003	Measurement of Airborne Macroparticles. Institute of Environmental Sciences and Technology, Arlington Heights, Illinois, 1999
[4]	IEST-G-CC1004	Sequential-Sampling Plan for Use in Classification of the Particulate Cleanliness of Air in Cleanrooms and Clean Zones. Institute of Environmental Sciences and Technology, Arlington Heights, Illinois, 1999
[5]	JIS В 9920:2002	Classification of air cleanliness for cleanrooms. Japanese Standards Association