Действующий
t, мин | t, с | Ожидаемое число частиц, Е | Предел для общего числа наблюдаемых частиц | Наблюдаемое число частиц в интервале времени | Общее число наблюдаемых частиц, С | Результат | |
Верхний предел, Св | Нижний предел, Сн | ||||||
1 | 60 | 1,0 | 5 | НП | 0 | 0 | Продолжить |
2 | 120 | 2,0 | 7 | НП | 0 | 0 | Продолжить |
3 | 180 | 3,0 | 8 | НП | 0 | 0 | Продолжить |
4 | 240 | 4,0 | 9 | 0 | 0 | 0 | СООТВЕТСТВУЕТ |
Ожидаемое число частиц в первом периоде наблюдений равно 1,0; общее наблюдаемое число частиц рассматривается как "несоответствие", если оно равно или более 5. Однако если общее наблюдаемое число частиц находится в интервале от 0 до 5, то заключение сделать нельзя. В данном примере отбор пробы продолжен, но общее наблюдаемое число частиц не возрастает. В четвертом периоде отбора пробы (t = 240 с) общее число наблюдаемых частиц равно 0 и равно нижнему пределу (0 частиц).
При необходимости задания промежуточных десятичных классов чистоты следует использовать таблицу Е.1, которая устанавливает требования к допустимым промежуточным классам.
Ввиду неопределенности, связанной со счетом частиц, шаг классификации, меньший 0,5, не рекомендован. Примечания внизу таблицы указывают на ограничения, связанные с возможностями отбора проб и счета частиц.
Класс N ИСО | Концентрация частиц, частиц/м3а | |||||
0,1 | 0,2 | 0,3 | 0,5 | 1,0 | 5,0 | |
1,5 ИСО | [32]b | d | d | d | d | e |
2,5 ИСО | 316 | [75]b | [32]b | d | d | e |
3,5 ИСО | 3 160 | 748 | 322 | 111 | d | e |
4,5 ИСО | 31 600 | 7 480 | 3 220 | 1 110 | 263 | e |
5,5 ИСО | 316 000 | 74 800 | 32 200 | 11 100 | 2 630 | e |
6,5 ИСО | 3 160 000 | 748 000 | 322 000 | 111 000 | 26 300 | 925 |
7,5 ИСО | с | с | с | 1 110 000 | 263 000 | 9 250 |
8,5 ИСОf | с | с | с | 11 100 000 | 2 630 000 | 92 500 |
приложение D, последовательный отбор проб). с Пределы концентраций не устанавливаются в данных местах таблицы ввиду очень высоких значений концентрации частиц. d Классы чистоты не установлены ввиду ограничений на отбор проб и обработку статистических данных при низких концентрациях частиц. е Классы чистоты при низких концентрациях частиц и для частиц с размерами, равными и большими 1 мкм, не установлены ввиду возможных потерь частиц в системе отбора проб. f Этот класс может быть задан только для эксплуатируемого состояния. | а Все приведенные в таблице концентрации являются кумулятивными, например, для класса 5,5 ИСО и порогового размера частиц 0,5 мкм предельно допустимая концентрация равна 11 100 частиц/м3, включая все частицы с размерами равными и большими этого размера. b При этих концентрациях требуется отбор проб с большим объемом для целей классификации (
При необходимости задания класса чистоты для промежуточных размеров частиц для любых целых или десятичных классов может использоваться формула (Е.1) для определения предельно допустимой концентрации частиц с заданным пороговым размером:
где Сn - предельно допустимая концентрация аэрозольных частиц (частиц/м3) с размерами, равными или большими заданного порогового значения; Сn округляется до ближайшего целого числа, причем число значащих цифр должно быть не более трех;
Настоящее приложение рассматривает контрольные приборы, которые следует применять при испытаниях по приложениям А, С и D.
В таблицах F.1 и F.2 приведены минимально необходимые требования для каждого вида приборов. Выбор контрольных приборов должен быть согласован заказчиком и исполнителем.
Настоящее приложение является справочным и не накладывает ограничений на использование усовершенствованных приборов по мере их появления.
Могут быть пригодными и использоваться другие приборы по соглашению между заказчиком и исполнителем.
Наименование | Требование |
Пределы измерения | Минимальный обнаруживаемый размер должен быть от 5 до 80 мкм и соответствовать заданным размерам частиц и возможностям прибора. Предельно допустимая концентрация частиц для LSAPC должна быть равна или превышать максимально ожидаемую концентрацию заданных частиц |
Разрешающая способность | Должна составлять 20 % для частиц, применяемых при калибровке, с размерами, заданными производителем |
Максимально допустимая ошибка | 20 % для счета частиц с заданными размерами |
Наименование | Требование |
Пределы измерения | Размеры частиц от 0,5 до 20 мкм; концентрация частиц от 1,0 х 103 частиц/м3 до 1,0 х 108 частиц/м3 |
Разрешающая способность | При определении аэродинамического диаметра: 0,02 мкм для частиц с размером 1,0 мкм; и 0,03 мкм для частиц с размером 10 мкм |
Максимально допустимая ошибка | 10 % от полной шкалы |
Обозначение ссылочного международного стандарта | Степень соответствия | Обозначение и наименование соответствующего национального стандарта |
ISO 14644-2:2015 | - | |
ISO 14644-7 | IDT | ГОСТ Р ИСО 14644-7-2007 "Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения)" |
* Соответствующий национальный стандарт отсутствует. До его утверждения рекомендуется использовать перевод на русский язык данного международного стандарта.Примечание - В настоящей таблице использовано следующее условное обозначение степени соответствия стандартов:- IDT - идентичные стандарты. |
[1] | ISO 21501-4:2007 | Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 4: Light scattering airborne particle counter for clean spaces |
[2] | ASTM F312-08 | Standard Test Methods for Microscopical Sizing and Counting Particles from Aerospace Fluids on Membrane Filters. ASTM International |
[3] | IEST-G-CC1003 | Measurement of Airborne Macroparticles. Institute of Environmental Sciences and Technology, Arlington Heights, Illinois, 1999 |
[4] | IEST-G-CC1004 | Sequential-Sampling Plan for Use in Classification of the Particulate Cleanliness of Air in Cleanrooms and Clean Zones. Institute of Environmental Sciences and Technology, Arlington Heights, Illinois, 1999 |
[5] | JIS В 9920:2002 | Classification of air cleanliness for cleanrooms. Japanese Standards Association |