Действующий
1 Разрешающая способность может зависеть, например, от шумов (внутренних или внешних) или трения. Она также может зависеть от значения измеряемой величины.
1 Обычно термин "предельно допустимая ошибка" или "предел ошибки" используется в случае двух экстремальных величин.
2 Не следует использовать термин "допустимое отклонение" для обозначения "предельно допустимой ошибки".
макрочастиц в зависимости от их размера.
3.5.2 дискретный счетчик макрочастиц (discrete-macroparticle counter): Устройство для дискретного счета
1 Это обычно выполняется путем оптического измерения времени прохождения частицы после изменения скорости потока.
При определении класса чистоты воздуха по концентрации частиц в чистом помещении или чистой зоне указывается одно или более из трех состояний: построенное, оснащенное, эксплуатируемое (3.3).
Следует указать один или более пороговых размеров (нижних пределов) в диапазоне значений от 0,1 до 5 мкм для задания чистоты воздуха по концентрации частиц для целей классификации.
Класс чистоты воздуха по концентрации частиц обозначается классификационным числом N ИСО. Предельно допустимые концентрации частиц для каждого порогового размера приведены в таблице 1.
Счетные концентрации частиц для различных пороговых размеров по таблице 1 не отражают реального распределения частиц в воздухе по числу и размерам и служат лишь критериями для классификации. Примеры определения классов чистоты приведены в приложении В.
Класс N ИСО | Предельно допустимые концентрации частиц, частиц/м3, с размерами, равными или большими следующих значенийa | |||||
0,1 мкм | 0,2 мкм | 0,3 мкм | 0,5 мкм | 1,0 мкм | 5,0 мкм | |
1 ИСО | 10b | d | d | d | d | e |
2 ИСО | 100 | 24b | 10b | d | d | e |
3 ИСО | 1 000 | 237 | 102 | 35b | d | e |
4 ИСО | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83b | e |
5 ИСО | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | d, e, f |
6 ИСО | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
7 ИСО | с | с | с | 352 000 | 83 200 | 2 930 |
8 ИСО | с | с | с | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 |
9 ИСОg, 1) | с | с | с | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |
приложение D). с В этой части таблицы пределы концентраций частиц не устанавливаются ввиду их очень высоких значений. d Классификация не предусматривается из-за ограничений, связанных с отбором проб и статистическим анализом при малых концентрациях частиц. е Классификация не предусматривается из-за ограничений на время отбора проб как при низких концентрациях частиц, так и при размерах частиц более 1 мкм из-за возможной потери частиц в системе отбора проб. f Для этих размеров частиц при классе 5 ИСО может использоваться дескриптор макрочастиц (М дескриптор) совместно по крайней мере с одним из других размеров частиц (см. п. С.7). g Этот класс может быть задан только для эксплуатируемого состояния. | а Все концентрации в таблице являются кумулятивными, например, для класса 5 ИСО число 10 200 частиц/м3 для порогового размера 0,3 мкм включает все частицы, размеры которых равны или превышают это значение. b При этих концентрациях объем пробы, необходимый для классификации, становится слишком большим и может применяться последовательный отбор проб (
Обозначение концентрации аэрозольных частиц для чистых помещений и чистых зон должно включать в себя:
Если используются более чем два пороговых размера частиц, то каждый больший размер (D2) должен по крайней мере в 1,5 раза превышать ближайший меньший размер (D1), т.е. D2
1,5 x D1.
![](https://dokipedia.ru/sites/default/files/doc_files/534/710/4/files/image1.emf.jpg)
Пример - Классификационное число ИСО; состояние чистого помещения; пороговый(ые) размер(ы) частиц. Класс 4 ИСО; оснащенное состояние; 0,2 мкм, 0,5 мкм.
Порядок работы для промежуточных классов и промежуточных пороговых размеров частиц для целых и промежуточных классов приведен в справочном приложении Е.
Соответствие класса чистоты ИСО, заданного заказчиком, проверяется по методике испытаний с последующим оформлением результатов и условий испытаний.
Проверка соответствия в построенном или оснащенном состояниях выполняется периодически с учетом оценки рисков для данной области применения, как правило, один раз в год.
Требования к текущему контролю (мониторингу) чистых помещений, чистых зон и изолирующих устройств установлены ИСО 14644-2:2015.
Стандартный метод испытаний для подтверждения соответствия приведен в приложении А (обязательном). Могут использоваться альтернативные методы или приборы (или и те, и другие одновременно), если они дают, по крайней мере, сравнимые результаты. Если не задан или не согласован альтернативный метод, то следует использовать стандартный метод.