Действующий
Примечание - Чистая зона может быть открытой или замкнутой и находиться как внутри, так и вне чистого помещения.
Класс N ИСО", который определяет максимально допустимые концентрации (частиц/м3) для заданных диапазонов размеров частиц.
2.1.4 класс чистоты (classification): Уровень чистоты по взвешенным в воздухе частицам, применимый к чистому помещению или чистой зоне, выраженный в терминах "
2 В соответствии с настоящим стандартом классы чистоты ограничены пределами от класса 1 ИСО до класса 9 ИСО.
3 Пороговые значения размеров частиц (нижние пороговые значения), применяемые для классификации по настоящему стандарту, находятся в диапазоне 0,1 - 5,0 мкм. Для пороговых размеров частиц, находящихся вне этого диапазона, чистота воздуха может быть определена (но не классифицирована) при помощи U- или М-дескрипторов (2.3.1 или 2.3.2)*.
4 Промежуточные классификационные числа ИСО могут быть определены с наименьшим допустимым приращением 0,1, т.е. ряд промежуточных классов ИСО расширяется от класса 1,1 ИСО до класса 8,9 ИСО.
Примечание - Для дискретных счетчиков частиц, работающих на принципе рассеяния света, используется эквивалентный оптический диаметр.
Примечание - U-дескриптор может рассматриваться как верхний предел для средних значений в точках отбора проб (или как верхний доверительный предел, зависящий от числа точек отбора проб, по которому оценивается чистое помещение или чистая зона). U-дескрипторы не могут использоваться для определения классов чистоты по взвешенным в воздухе частицам, но они могут указываться независимо или совместно с классами чистоты по взвешенным в воздухе частицам.
Примечание - M-дескриптор может рассматриваться как верхний предел для средних значений в точках отбора проб (или как верхний доверительный предел, зависящий от числа точек отбора проб, по которому оценивается чистое помещение или чистая зона). М-дескрипторы не могут использоваться для определения классов чистоты по взвешенным в воздухе частицам, но они могут указываться независимо или совместно с классами чистоты по взвешенным в воздухе частицам.
При определении класса чистоты указывается состояние чистых помещений - "построенное", "оснащенное" или "эксплуатируемое" (2.4).
Примечание - Следует иметь в виду, что состояние "построенное" может применяться к новым или недавно реконструированным чистым помещениям или чистым зонам. После испытаний в состоянии "построенное" дальнейшие испытания выполняются по согласованию с заказчиком в состояниях "оснащенное", "эксплуатируемое" или в обоих состояниях.
Чистота помещения по взвешенным в воздухе частицам обозначается классификационным числом N. Максимально допустимая концентрация частиц С_n, частиц/м3, с размерами, равными или большими заданного размера D, для данного класса чистоты определяется по формуле.
С_n округляется до целого числа, при этом используется не более трех значащих цифр. В таблице 1 приведены классы чистоты и соответствующие концентрации частиц с размерами, равными или большими заданных размеров. Графическое представление классов чистоты приведено в приложении А (рисунок А.1). Точное значение величины С_n определяется по формуле (1).
Класс N ИСО (N - классификационное число) | Максимально допустимые концентрации частиц, частиц/м3, с размерами, равными или большими следующих значений, мкм | ||||||
0,1 | 0,2 | 0,3 | 0,5 | 1,0 | 5,0 | ||
Класс 1 ИСО | 10 | 2 | - | - | - | - | |
Класс 2 ИСО | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - | |
Класс 3 ИСО | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - | |
Класс 4 ИСО | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | - | |
Класс 5 ИСО | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | |
Класс 6 ИСО | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | |
Класс 7 ИСО | - | - | - | 352000 | 83200 | 2930 | |
Класс 8 ИСО | - | - | - | 3520000 | 832000 | 29300 | |
Класс 9 ИСО | - | - | - | 35200000 | 8320000 | 293000 | |
Примечание - Из-за неопределенности, связанной с процессом счета частиц, при классификации следует использовать значения концентрации, имеющие не более трех значащих цифр. |