3.2.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда - штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора, измерительных лент методом прямых измерений и рабочих средств измерений - измерителей линейных перемещений методом прямых измерений и штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.2.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.2.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют штриховые меры длины, голографические измерительные системы линейных перемещений в диапазоне от 0,001 до 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне от 0,001 до 30 м.

3.2.2.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от ±(0,2+0,5 ) мкм до ±(2+2 ) мкм.

3.2.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда - штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора, измерительных лент методом непосредственного сличения, рабочих эталонов 4-го разряда - штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений - приборов для измерений наружных и внутренних размеров методом прямых измерений, измерительных рулеток методом непосредственного сличения.

3.2.3 Рабочие эталоны 3-го разряда

3.2.3.1 В качестве рабочих эталонов 3-го разряда используют штриховые меры длины, растровые измерительные преобразователи в диапазоне от 0,1 до 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне от 0,001 до 50 м.

3.2.3.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от ±(1+5 ) мкм до ±(10+10 ) мкм.

3.2.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда - штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений - приборов для измерений наружных и внутренних размеров методом прямых измерений, измерительных рулеток и землемерных лент методом непосредственного сличения, штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.2.4 Рабочие эталоны 4-го разряда

3.2.4.1 В качестве рабочих эталонов 4-го разряда используют штриховые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм.

3.2.4.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 4-го разряда составляют ±(20+30 ) мкм.

3.2.4.3 Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений - складных мер, нивелирных реек, измерительных линеек, лесных вилок методом непосредственного сличения.

3.3 Рабочие эталоны 3-й части

3.3.1 Рабочие эталоны 1-го разряда

3.3.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм, меры внутренних диаметров - измерительные кольца в диапазоне от 0,5 до 200 мм и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.

3.3.1.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от ±(0,02+0,2 ) мкм до ±(0,05+0,5 ) мкм.

3.3.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда - установок для поверки измерительных головок, установок для поверки измерительных преобразователей, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров, мер внутренних диаметров - измерительных колец методом прямых измерений, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений - плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора, приборов для измерений наружных размеров, контактных интерферометров методом прямых измерений.

3.3.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.3.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют установки для поверки измерительных головок в диапазоне от 0,1 до 25 мм, установки для поверки измерительных преобразователей в диапазоне от 0,005 до 0,2 мм, плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм и меры внутренних диаметров - измерительные кольца в диапазоне от 1 до 500 мм.

3.3.2.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от ±0,04 до ±2 мкм.

3.3.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда - плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров - измерительных колец сличением при помощи компаратора, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров методом прямых измерений и рабочих средств измерений - приборов для измерений наружных размеров, преобразователей и приборов автоматизированного контроля методом прямых измерений.

3.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда

3.3.3.1 В качестве рабочих эталонов 3-го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, меры внутренних диаметров - измерительные кольца в диапазоне от 0,5 до 500 мм и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм.

3.3.3.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от ±(0,1+1 ) до ±(0,2+2 ) мкм.

3.3.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда - плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров - измерительных колец методом сличения с помощью компаратора, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров методом прямых измерений и рабочих средств измерений - приборов для измерений наружных размеров, установочных колец методом прямых измерений, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.3.4 Рабочие эталоны 4-го разряда

3.3.4.1 В качестве рабочих эталонов 4-го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, приборы для поверки индикаторов и индикаторных нутромеров в диапазоне от 0 до 100 мм, меры внутренних диаметров - измерительные кольца и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм.

3.3.4.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 4-го разряда составляют от ±0,2 мкм до ±(0,5+5 ) мкм.

3.3.4.3 Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений - плоскопараллельных концевых мер длины, установочных концевых мер, проволочек, роликов, принадлежностей к концевым мерам (боковиков) методом сличения с помощью компаратора, приборов для измерений наружных размеров, штангенинструмента, приборов для измерений наружных и внутренних размеров, нутромеров методом прямых измерений, установочных колец, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.4 Рабочие эталоны 4-й части

3.4.1 Рабочие эталоны 1-го разряда

3.4.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют рельефные меры в диапазоне от 10 до 10 м, микроскопы с лазерным интерферометром и лазерные измерители перемещений в диапазоне от 10 до 10 м.

3.4.1.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от ±1 до ±10 нм.

3.4.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда - рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.

3.4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.4.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют рельефные меры, электронные растровые измерительные микроскопы и сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы в диапазоне от 10 до 10 м.

3.4.2.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от ±3 до ±50 нм.

3.4.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений - рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.

4 Рабочие средства измерений

4.1 Рабочие средства измерений 1-й части

4.1.1 В качестве рабочих средств измерений используют спектрометры и спектрофотометры в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения и частотно-стабилизированные и нестабилизированные лазеры непрерывного излучения - меры длин волн в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения и лазеры импульсного излучения в диапазоне от 0,4 до 1,2 мкм.

4.1.2 Доверительные границы относительных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 частотно-стабилизированных лазеров повышенной точности составляют от 1±10 до 3·10 .

4.1.3 Пределы допускаемых относительных погрешностей рабочих средств измерений составляют от ±3·10 до ±1·10 .

4.2 Рабочие средства измерений 2-й части

4.2.1 В качестве рабочих средств измерений используют измерители линейных перемещений в диапазоне от 0,01 до 30000 мм, штриховые меры длины в диапазоне от 0,1 до 2000 мм, измерительные преобразователи линейных перемещений в диапазоне от 0 до 32000 мм, приборы для измерений наружных и внутренних размеров в диапазоне от 0 до 1000 мм, складные меры и измерительные линейки в диапазоне от 0 до 1000 мм, нивелирные рейки в диапазоне от 0 до 4000 мм, лесные вилки в диапазоне от 1 до 750 мм, измерительные рулетки длиной до 100 м, землемерные ленты длиной до 50 м, мерные проволоки длиной до 24 м.

4.2.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей рабочих средств измерений составляют от ±0,05 мкм до ±14 мм.

4.3 Рабочие средства измерений 3-й части

4.3.1 В качестве рабочих средств измерений используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, контактные интерферометры с ценой деления от 0,02 до 0,2 мкм, приборы для измерений наружных и внутренних размеров, нутромеры, штангенинструмент в диапазоне от 0 до 2500 мм; установочные кольца в диапазоне от 1 до 500 мм, преобразователи и приборы автоматизированного контроля, установочные концевые меры, проволочки и ролики для измерений среднего диаметра резьбы, принадлежности к концевым мерам длины (боковики).

4.3.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей рабочих средств измерений составляют от ±0,02 мкм до ±1 мм.