(Действующий) ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств...

Докипедия убедительно просит пользователей использовать в своей электронной переписке скопированные части текстов нормативных документов. Вы только попробуйте! Технология, автоматически генерируемых обратных ссылок на источник информации, доставит удовольствие вашим адресатам.

Действующий

ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1х10_(-9) до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм

Дата введения 01.01.2013
Предисловие
Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"
Сведения о стандарте
1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И.Менделеева" (ФГУП "ВНИИМ им. Д.И.Менделеева") Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 13 декабря 2011 г. N 1094-ст
4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет
Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений длины в диапазоне от 1·10 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм (далее - государственная поверочная схема) и устанавливает порядок передачи единицы длины от государственного первичного эталона единицы длины - метра (далее - государственный первичный эталон) рабочим средствам измерений с помощью вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов поверки.
Государственная поверочная схема состоит из четырех частей:
часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн [рисунок А.1 (приложение А)];
часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений [рисунок Б.1 (приложение Б)];
часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные [рисунок В.1 (приложение В)];
часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона [рисунок Г.1 (приложение Г)].

1 Государственный первичный эталон

Государственный первичный эталон представляет собой комплекс, в состав которого входят следующие средства измерений:
- источник эталонного излучения - лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде - 127;
- установка для измерений разности частот источников лазерного излучения;
- универсальный интерференционный метровый компаратор;
- лазерный интерференционный тридцатиметровый компаратор;
- лазерный интерференционный компаратор для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне;
- гетеродинный интерферометр.
Номинальное значение длины волны, при котором воспроизводится единица, составляет 0,633 мкм.
Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы со среднеквадратическим отклонением результата измерений , не превышающим 5,6·10 при 100 независимых измерениях.
Неисключенная систематическая погрешность не превышает 2,2·10 .
Государственный первичный эталон применяют для передачи единицы длины вторичным и рабочим эталонам методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора и мер сравнения.

2 Вторичные эталоны

2.1 Вторичные эталоны 1-й части

2.1.1 В качестве вторичных эталонов используют частотно-стабилизированные лазеры в диапазоне длин волн от 0,4 до 11 мкм.
2.1.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений вторичных (рабочих) эталонов с государственным первичным эталоном при 100 независимых измерениях составляют от 1·10 до 1·10 .
2.1.3 Вторичные (рабочие) эталоны применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 1-го и 2-го разрядов методом сличения с помощью компаратора и методом прямых измерений, а также рабочим средствам измерений - частотно-стабилизированным лазерам непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.

2.2 Вторичные эталоны 2 части

2.2.1 В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне от 0,001 до 1000 мм.
2.2.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений эталонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,02+0,04 ) мкм, где - длина, м.
2.2.3 Эталоны-копии применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины, а также рабочих средств измерений - измерителей линейных перемещений методом прямых измерений.
2.2.4 В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют штриховые меры длины и установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм.
2.2.5 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 составляют от ±(0,03+0,1 ) до ±(0,05+0,1 ) мкм, где - длина в метрах.
2.2.6 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора.

2.3 Вторичные эталоны 3-й части

2.3.1 В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах от 0,1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм.
2.3.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений эталонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,01+0,04 ) мкм, где - длина, м.
2.3.3 Эталоны-копии применяют для поверки вторичных эталонов - интерференционных установок для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм методом сличения с помощью мер сравнения, рабочих эталонов 1-го разряда - плоскопараллельных концевых мер длины и кварцевых геодезических жезлов методом прямых измерений, а также установок для поверки средств измерений внутренних размеров методом сличения с помощью мер сравнения.
2.3.4 В качестве вторичных эталонов используют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах от 0,1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм и интерференционные установки для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм.
2.3.5 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 составляют от ±(0,02+0,1 ) мкм до ±(0,05+0,1 ) мкм, где - длина, м.
2.3.6 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров - измерительных колец методом прямых измерений и рабочих средств измерений - плоскопараллельных концевых мер длины методом прямых измерений.

2.4 Вторичные эталоны 4-й части

2.4.1 В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют лазерные измерители перемещений в диапазоне от 10 до 10 м.
2.4.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 составляют от ±0,5 до ±3,0 нм.
2.4.3 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - микроскопов с лазерным интерферометром и лазерных измерителей перемещений в диапазоне от 10 до 10 м методом непосредственного сличения.

3 Рабочие эталоны

3.1 Рабочие эталоны 1-й части

3.1.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
3.1.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют спектральные лампы в диапазоне от 0,4 до 0,7 мкм, частотно-стабилизированные лазеры и измерители длин волн лазеров в диапазоне от 0,4 до 11 мкм.
3.1.1.2 Доверительные границы относительных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от 2·10 до 1·10 .
3.1.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда используют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда - спектральных ламп и стандартных образцов спектра поглощения и пропускания, а также источников излучения, входящих в состав измерителей линейных перемещений (часть 2), методом сличения с помощью компаратора, лазерных спектрометров методом непосредственного сличения измерителей длин волн лазеров непрерывного излучения методом прямых измерений и рабочих средств измерений - частотно-стабилизированных лазеров непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.
3.1.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
3.1.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют спектральные лампы и стандартные образцы спектра поглощения и пропускания в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения в диапазоне от 0,4 до 1,2 мкм.
3.1.2.2 Доверительные границы относительных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от 1·10 до 1·10 .
3.1.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений, методом сличения с помощью компаратора и методом непосредственного сличения.

3.2 Рабочие эталоны 2-й части

3.2.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
3.2.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют штриховые меры длины, дифракционные голографические меры длины в диапазоне от 0,001 до 1000 мм, установки для поверки измерительных лент в диапазоне от 0,001 до 30 м и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.
3.2.1.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от ±(0,02+0,2 ) мкм до ±(1+1 ) мкм.
3.2.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда - штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора, измерительных лент методом прямых измерений и рабочих средств измерений - измерителей линейных перемещений методом прямых измерений и штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора.
3.2.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
3.2.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют штриховые меры длины, голографические измерительные системы линейных перемещений в диапазоне от 0,001 до 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне от 0,001 до 30 м.